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紫外激光劃片機(jī)
| LPAUV-355C
紫外激光劃片機(jī) | LPAUV-355C

應(yīng)用領(lǐng)域

主要應(yīng)用于SiC，LOW-K等材料的 表面切割，適用于半導(dǎo)體行業(yè)的SiC， LOW-K等晶圓

產(chǎn)品特點

  • 采用定制長脈寬紫外激光器；特別適用于切割SIC，LOW-K等晶圓，劃片良率高于行業(yè)競爭對手

  • 采用定制高精密大理石運(yùn)動平臺；抗震性好，精度高，劃片效率高于行業(yè)競爭對手

  • 獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計方案；對激光源形成閉環(huán)實時監(jiān)測，可有效防止因激光源衰減而導(dǎo)致報廢晶圓 涂膠和清洗分離式設(shè)計，大大提高劃片效率 公司通過SEMI半導(dǎo)體協(xié)會認(rèn)證；支持MES系統(tǒng)；設(shè)備可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體終端客戶 設(shè)備兼容6/8/12寸晶圓；可實現(xiàn)客戶品種快速切換

 設(shè)備環(huán)境需求及參數(shù)   
電壓，功率 AC 三相 380V,4KW
供氣規(guī)格 0.6Mpa,￠10
環(huán)境溫度 23±2度；55±10%
設(shè)備尺寸 長*寬*高（2200*1800*1800mm）
設(shè)備重量 3000KG
數(shù)據(jù)庫 MES系統(tǒng)
UPS, FFU 選配
排氣規(guī)格 0.2Mpa, ￠90
排水 5L/Min
供水 0.3Mpa; 5L/Min
 設(shè)備環(huán)境需求及參數(shù)  
電壓，功率 AC 三相 380V,4KW
供氣規(guī)格 0.6Mpa,￠10
環(huán)境溫度 23±2度；55±10%
設(shè)備尺寸 長*寬*高（2200*1800*1800mm）
設(shè)備重量 3000KG
數(shù)據(jù)庫 MES系統(tǒng)
UPS, FFU 選配
排氣規(guī)格 0.2Mpa, ￠90
排水 5L/Min
供水 0.3Mpa; 5L/Min

  • 產(chǎn)品及應(yīng)用

  • 江蘇萊普激光設(shè)備

  • 產(chǎn)品及應(yīng)用

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